中芯北方集成电路制造（北京）有限公司 12 英寸集成电路生产线项目位于北京经济技术开发区，2019 年 9 月获得绿色工业建筑三星级运行标识。项目用一套“水、电、气”账本，证明芯片制造也可以绿色运行。
项目概况
- 地点：北京经济技术开发区
- 类型：12 英寸集成电路生产线（工业建筑）
- 规模：用地 113,673.7㎡，总建筑面积 288,882.38㎡
- 认证：绿色工业建筑三星级运行标识（2019 年 9 月）
中芯北方项目实景
绿色技术亮点
- 场地与物流：联合厂房与动力站紧邻布置；小天车 240 辆、立体货架可容纳 17,002 个晶圆盒；自行车位 280 个；容积率 2.332、建筑系数 63.89%、透水地面 30.10%；种植 29 种、5,587 株苗木，成活率 97%。
- 能源：洁净室 MAU 再热优化年节标煤 396.23tce、节约 170.33 万元；温湿度独立控制年节标煤 674.02tce、节电费 329.06 万元；冬季 free cooling 年节标煤 536.56tce、节电费 261.95 万元；另有蒸汽冷凝水、热泵冰机、VOCs 废气余热回收。
- 水：生产给水采用市政再生水；非传统水源利用率 64.10%，整体水重复利用率 99.32%，工艺超纯水重复利用率 97.70%；UPW F/R 系统水重复利用率 68.10%，本地洗气塔废水回收系统 66.28%。
- 材料与环保：可再循环材料使用量占相应建筑材料总量的 75.45%，建材本地化运输距离小于 400km；废气处理效率可达 90%，废水分质处理，噪声、固废、辐射管理符合要求。
- 室内与职业健康：洁净室温度、湿度、风速在线监测；通过 OHSAS/ISO 职业健康安全体系；设节能管理委员会，每月召开节能推进会。
三星级绿色建筑标识证书
生产区域与厂务系统
水处理与回用系统
绿建之窗观察
半导体工厂的绿色化不是“少用能”，而是“把每一份水、气、热都循环起来”。这个案例最有价值的地方，是把节能量、节约费用、重复利用率都量化到台账里；运行标识拼的不是概念，而是持续改进的能力。
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